為您的 CVD 鍍膜設備提供節省空間和免保養的溫度控制解決方案

CVD 鍍膜設備的研發和生產非常複雜，需要特殊的技術訣竅。尤其對於冷卻過程。感測器和執行器的相互作用對您設備的冷卻系統至關重要。Bürkert 可為您提供配合您要求的個性化冷卻解決方案，這得益於品種繁多的組件和多年的經驗。從規劃到試運行和保養，作為一個強大的流體學合作夥伴，我們一直在您身邊。

CVD 鍍膜設備的空間有限，增加了設備保養的困難

CVD 鍍膜設備必須能夠發揮出最大的性能，以便經濟地工作。有效的冷卻在這裡起著決定性的作用。因為 CVD 膜只應沉積在基材上，而不是在反應器中。
總的來說，鍍膜設備應盡可能的小巧。因此，在傳統的解決方案中，由於空間狹小，很難更換部件。為了找到真正磨損的部件，通常需要很大的工作量來拆卸整個部件系統。此外，採購要更換的部件需要很長的時間。

鍍膜設備的流體系統方案要求很高，工作量很大。從工程設計開始，通過選擇和測試相互作用的組件，到其購買、安裝和正確操作。

Grafische Darstellung von links nach rechts: PC-Arbeitsplatz plus Figur in Arbeitskleidung, darüber eine Sprechblase mit einem Fluidikplan und Fragezeichen – Figur in Arbeitskleidung, die eine komplexe technische Einheit zusammensetzt, Schachteln, in denen sich Bauteile befinden – Figur in Arbeitskleidung mit einem Zettel in den Händen vor einer größeren technischen Anlage in einem Schrank, geöffnete Tür

傳統的冷卻系統由許多組件構成，空間需求大。然而，對於在成本密集型潔淨室中運行的設備，鍍膜設備的尺寸應盡可能小。

Grafische Darstellung: rechts größerer Schrank mit technischer Anlage, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen, darin Kubus; links Kubus vergrößert dargestellt, darin komplexe technische Einheit, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen; in der Mitte Pfeil von links nach rechts weisend

當使用單個組件及其管道時，有許多密封點。這就增加了洩漏的風險。洩漏和大量的保養延長了停機時間，降低了 CVD 鍍膜設備的產量。

Grafische Darstellung von links nach rechts: größerer Schrank mit technischer Anlage, Detailansicht in Lupe – Figur in Arbeitskleidungmit Schraubenschlüssel in der Hand, die eine komplexe technische Einheit repariert, darum herum verstreut Bauteile – Schrank mit technischer Anlage, Förderband mit Reihe von Halbleiter-Chips, das Ganze durchgestrichen

CVD 鍍膜設備的順暢的生產流程是至關重要的。在保養過程中使用特殊的部件會導致很高的物流工作量。備件的供應也需要大量的時間，並可能導致生產的停滯。

Grafische Darstellung von links nach rechts: komplexere technische Einheit, Rauchfahne, Symbol Achtungzeichen – Weltkarte; darauf Würfel, die Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventile, Transportfahrzeug – Figur in Arbeitskleidung kniend vor einem Schrank, geöffnete Tür, darin größere technischen Anlage sichtbar

為您的冷卻任務提供多功能、少保養的系統解決方案

憑藉其流體技術經驗，Bürkert 為您的氣體分離設備提供最佳化的和個性化的冷卻解決方案。由安裝空間最佳化的、焊接的或機器加工的模塊解決方案與高質素的不銹鋼配件組合而成的小巧的流體解決方案精准配合您的要求。經過驗證的可靠的 Bürkert 技術的特點是生命週期很長。這提高了您的過程可靠性，使保養工作幾乎成為多餘。

節省空間的焊接或機加工的模塊解決方案

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Bürkert 系統解決方案的優點：

高品質和耐用的 Bürkert 組件使您的系統變得更加可靠。故障和大量的保養將一去不復返。

Grafische Darstellung Block mit drei Ventilen, Durchflusssensor; Pfeil, Symbol Uhr

Bürkert 模塊都是在我們自己的工廠裡生產出來的──不依賴漫長的供應鏈。由於庫存量大，在緊急情況時，我們可以直接供貨。即插即用的解決方案實現快速安裝，減少了停機時間。

Grafische Darstellung einer Weltkarte; darauf Würfel, welche Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventilen und eines Transportfahrzeugs; links und rechts der Weltkarte je dieselbe Detaildarstellung einer Anlage mit zentral platziertem Block mit drei Ventilen; links mit einem rot gefärbten Ventil

採用 Bürkert 系統解決方案，您無需再把單獨的組件組裝在一起。這就降低了冷卻系統的安裝時間，從而降低了整套鍍膜設備的製造費用。

Grafische Darstellung eines Diagramms mit zwei ansteigenden Kurven, schwarz und blau, y-Achse mit Symbol Geldmünzen, x-Ache mit Symbol Stückzahl; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet der schwarzen Kurve und eines kleineren Bauteils, zugeordnet der blauen, niedriger verlaufenden Kurve

件數

手動解決方案和 Bürkert 解決方案的對比：
組件成本為 200 歐元，安裝時間為 50 分鐘，安裝成本為 100 歐元，手工解決方案的總成本為 300 歐元。
而 Bürkert 解決方案把安裝時間縮短為 20 分鐘。這相當於 40 歐元的安裝成本。這樣，總成本為 240 歐元。隨著件數的增加，20％的節省對您的總安裝成本產生莫大的影響。

系統結構小巧，為個性化設計留有餘地，所需安裝空間小。特別是對於在昂貴的潔淨室中運行的設備，節省空間的設計是至關重要的。這意味著，要麼在一個房間裡可以放置更多的機器，要麼在新建築裡房間可以規劃得更小。