Bypass CMOS sensor 旁路 CMOS 傳感器
可直接在旁路通道中測量測量值。
在主通道中的層流元件會產生壓差，該壓差可通過旁路通道推動總流量的一小部分。位於該處的傳感器將直接以溫差形式測量質量流量。此處會在特殊形狀的流動通 道中實現測量，通道內壁的一處含有帶耐腐蝕薄膜的矽芯片。在該薄膜上使用了 CMOSens® 技術，並安裝有加熱電阻及兩個溫度傳感器，兩個傳感器分別位於順流和逆流的對稱位置。當向加熱電阻供應恆定電壓時，溫度傳感器的電壓差是在流動通道中通過 芯片的氣體的質量流量的計量單位。
使用 CMOS-Sens 技術的旁路傳感器工作原理圖（旁路通道的部分）