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直接在分支電流上進行測量

使用 CMOS-Sens 技術的旁路傳感器工作原理圖(旁路通道的部分)

可直接在旁路通道中測量測量值。在主通道中的層流元件會產生壓差,該壓差可通過旁路通道推動總流量的一小部分。位於該處的傳感器將直接以溫差形式測量質量流量。此處會在特殊形狀的流動通道中實現測量,通道內壁的一處含有帶耐腐蝕薄膜的矽芯片。在該薄膜上使用了 CMOSens® 技術,並安裝有加熱電阻及兩個溫度傳感器,兩個傳感器分別位於順流和逆流的對稱位置。當向加熱電阻供應恆定電壓時,溫度傳感器的電壓差是在流動通道中通過芯片的氣體的質量流量的計量單位。

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