類型 8713 - 氣體質量流量控制器 (MFC)

類型描述

8713 型質流控制器 (MFC) 適合在大流量範圍內對氣體進行品質流量控制。直接位於氣流中的熱 MEMS 感測器可以實現極高速度的回應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的回應靈敏度。整合 PI 控制器，使得 MFC 具備卓越的控制特性。8713 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準，使用者可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信完全採用數位形式，這樣一來，就可以省去額外的數模轉換。8713 型質流控制器適合多樣化應用，例如燃燒器控制、熱處理、材料塗層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗台。

標稱流量範圍從 0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量和重複精度高
調控速度特別快
透過 RS485 進行數位通信
緊湊型版本

如需選用合適產品，請仔細參考數據表中的技術資料、圖像和備註。

可以與以下產品配套

類型 6013

直動式兩位兩通柱塞閥

類型 0330

二位二通或二位三通直動式樞軸銜鐵閥

類型 6027

直動式兩位兩通柱塞閥

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應用 & 工具

下載

數據表

	描述	文件大小	語言 / 國家
	Type 8713 data sheet \| mass flow controller for gases	931.3 kB	EN / EU
	Typ 8713 Datenblatt \| Massendurchflussregler für Gase	943.4 kB	DE / DE

用戶手冊

描述	文件大小	語言 / 國家
Additional manual MFC \| Digital communication (RS 232 / RS 485)	1.9 MB	EN / EU
Replacement Instructions \| Types 8701, 8711, 8703, 8713	514.1 kB	EN / EU
Operating Instructions Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.3 MB	EN / EU
Austauschanleitung \| Typen 8701, 8711, 8703, 8713	515.5 kB	DE / DE
Instructions de remplacement \| Types 8701, 8711, 8703, 8713	516.2 kB	FR / FR
Manuel supplémentaire MFC \| Communication numérique (RS 232/ RS 485)	1.9 MB	FR / FR
Zusatzanleitung MFC \| Digitale Kommunikation (RS 232 / RS 485)	1.8 MB	DE / DE
Bedienungsanleitung Typ 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.4 MB	DE / EU
Manuel d'utilisation Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.4 MB	FR / EU

軟體

描述	文件大小	語言 / 國家
USB-Driver Win 7 - Win 11 A.06	4.2 MB	ML
MFC_Driver_DLL (A.16) A.16	6.1 MB	ML
MassFlowCommunicator A.32	27 MB	ML

宣言

描述	文件大小	語言 / 國家
EU-DoC\|EU Declaration	28.8 kB	EN,FR,DE
MDec\|Food\|Hygenic 8741-8742 & 870x & 871x decl.	159.1 kB	EN,DE
EU-DoC\|EU Material Compliance	40.2 kB	EN
EU-DoC\|EU Material Compliance	41.7 kB	FR
EU-DoC\|EU Material Compliance	40.9 kB	DE

ID 號碼 335697

類型 8713